Theknoloji ea ho tjhesa ka omileng ke e 'ngoe ea lits'ebetso tsa bohlokoa. Khase ea ho tjhesa ka omileng ke thepa ea bohlokoa tlhahisong ea semiconductor le mohloli oa bohlokoa oa khase bakeng sa ho tjhesa ka plasma. Tshebetso ea eona e ama boleng le ts'ebetso ea sehlahisoa sa ho qetela ka kotloloho. Sengoloa sena se arolelana haholo-holo hore na likhase tsa ho tjhesa tse sebelisoang hangata ke life ts'ebetsong ea ho tjhesa ka omileng.
Likhase tse thehiloeng ho fluorine: tse kangtetrafluoride ea khabone (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) le perfluoropropane (C3F8). Dikhase tsena di ka hlahisa di-fluoride tse feto-fetohang ka katleho ha di tjhesa metsoako ya silicon le silicon, ka hona di fihlella ho tloswa ha thepa.
Likhase tse thehiloeng ho chlorine: tse kang chlorine (Cl2),boron trichloride (BCl3)le silicon tetrachloride (SiCl4). Dikhase tse thehilweng ho chlorine di ka fana ka di-ion tsa chloride nakong ya tshebetso ya ho tjhesa, e leng se thusang ho ntlafatsa sekgahla sa ho tjhesa le ho kgetha.
Dikhase tse thehilweng ho bromine: tse kang bromine (Br2) le bromine iodide (IBr). Dikhase tse thehilweng ho bromine di ka fana ka tshebetso e betere ya ho tjhesa ditshebetsong tse itseng tsa ho tjhesa, haholoholo ha ho tjhesa thepa e thata jwalo ka silicon carbide.
Dikhase tse thehilweng ho naetrojene le tse thehilweng ho oksijene: tse kang naetrojene trifluoride (NF3) le oksijene (O2). Dikhase tsena hangata di sebediswa ho lokisa maemo a karabelo tshebetsong ya ho tjhesa ho ntlafatsa kgetho le tataiso ya ho tjhesa.
Dikhase tsena di fihlella ho tjhesa bokaholimo ba thepa ka ho kopanya ho tjhesa ha mmele le dikarabelo tsa dikhemikhale nakong ya ho tjhesa ka plasma. Kgetho ya kgase ya ho tjhesa e itshetlehile ka mofuta wa thepa e tla tjhesa, ditlhoko tsa kgetho ya ho tjhesa, le sekgahla se lakatsehang sa ho tjhesa.
Nako ea poso: Hlakola-08-2025
