Carbon Tetrafluoride (CF4)

Tekheniki Parameters

Carbon tetrafluoride ke halogenated hydrocarbon e nang le foromo ea lik'hemik'hale CF4.E ka nkoa e le halogenated hydrocarbon, halogenated methane, perfluorocarbon, kapa e le motsoako oa inorganic.Carbon tetrafluoride ke khase e se nang 'mala, e sa nkhang hamonate, e sa qhibiliheng ka metsing, e qhibilihang ka har'a benzene le chloroform.E tsitsitse tlas'a mocheso o tloaelehileng le khatello, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse tukang kapa tse tukang.Khase e sa cheng, khatello ea ka hare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesehetse mocheso o phahameng, 'me ho na le kotsi ea ho phunyeha le ho phatloha.E tsitsitse lik'hemik'hale 'me ha e chese.Ke feela metsi a ammonia-sodium metal reagent e ka sebetsang mocheso oa kamore.Carbon tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo.E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke khase e futhumatsang lefatše e matla haholo.Carbon tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea plasma etching ea lipotoloho tse fapaneng tse kopaneng.E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa lihatsetsing tse nang le mocheso o tlase, lihlapolli, lilubricant, lisebelisoa tse sireletsang mocheso, le lisebelisoa tse pholisang bakeng sa li-detectors tsa infrared.Ke khase e sebelisoang ka ho fetesisa ea plasma indastering ea microelectronics.Ke motsoako oa khase ea tetrafluoromethane e hloekileng haholo le khase ea tetrafluoromethane e hloekileng le oksijene e hloekileng haholo.E ka sebelisoa haholo ka silicon, silicon dioxide, silicon nitride, le khalase ea phosphosilicate.Ho kenngoa ha lisebelisoa tsa filimi tse tšesaane tse kang tungsten le tungsten ho boetse ho sebelisoa haholo ho hloekisa holim'a lisebelisoa tsa elektroniki, tlhahiso ea lisele tsa letsatsi, theknoloji ea laser, sehatsetsi se nang le mocheso o tlase, tlhahlobo ea ho lutla le sesepa sa ho hlatsoa lihlahisoa tsa potoloho tse hatisitsoeng.E sebelisoa e le sehatsetsi se nang le mocheso o tlase le theknoloji ea plasma e omileng ea etching bakeng sa lipotoloho tse kopantsoeng.Litlhokomelo bakeng sa polokelo: Boloka sebakeng sa polokelo ea khase e pholileng, e nang le moea o sa cheng.E-ba hōle le mehloli ea mollo le mocheso.Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30°C.E lokela ho bolokoa ka thoko ho lintho tse tukang habonolo (tse tukang) le li-oxidants, 'me u qobe polokelo e tsoakiloeng.Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa phekolo ea tšohanyetso tse lutlang.

Kopo:

① Sehatsetsi:

Ka linako tse ling Tetrafluoromethane e sebelisoa e le sehatsetsi se tlase sa mocheso.

② Ho khabisa:

E sebelisoa ho microfabrication ea elektronike feela kapa hammoho le oksijene e le plasma etchant bakeng sa silicon, silicon dioxide, le silicon nitride.

Sephutheloana se tloaelehileng:

Molemo:

①Bohloeki bo phahameng, setsi sa morao-rao;

② moetsi oa setifikeiti sa ISO;

③Polelo e potlakileng;

④Sistimi ea tlhahlobo ea inthaneteng bakeng sa taolo ea boleng mohatong o mong le o mong;

⑤ Tlhokahalo e phahameng le ts'ebetso e hlokolosi ea ho sebetsana le silinda pele e tlatsa;