Likhase tse khethehileng tsa elektroniki tse tloaelehileng tse nang le fluorine li kenyelletsasebabole hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),tetrafluoride ea khabone (CF4), trifluoromethane (CHF3), naetrojene trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) le octafluoropropane (C3F8).
Ka ntshetsopele ya nanotechnology le ntshetsopele e kgolo ya indasteri ya dieleketeroniki, tlhokeho ya yona e tla eketseha letsatsi le letsatsi. Naetrojene trifluoride, e le kgase ya elektroniki e ikgethang e ke keng ya qojwa le e sebediswang ka ho fetisisa tlhahisong le tsamaisong ya diphanele le di-semiconductor, e na le sebaka se seholo sa mmaraka.
Jwalo ka mofuta wa kgase e ikgethang e nang le fluorine,naetrojene trifluoride (NF3)ke sehlahisoa sa khase se khethehileng sa elektroniki se nang le bokhoni bo boholo ka ho fetisisa ba 'maraka. Ha e na lik'hemik'hale mochesong oa kamore, e sebetsa ho feta oksijene mochesong o phahameng, e tsitsitse ho feta fluorine, 'me e bonolo ho e sebetsana. Trifluoride ea naetrojene e sebelisoa haholo-holo e le khase e ntšang plasma le sesebelisoa sa ho hloekisa kamore ea karabelo, 'me e loketse masimo a tlhahiso ea li-chip tsa semiconductor, lipontšo tsa phanele e bataletseng, likhoele tsa optical, lisele tsa photovoltaic, jj.
Ha ho bapisoa le likhase tse ling tsa elektroniki tse nang le fluorine,naetrojene trifluorideE na le melemo ea karabelo e potlakileng le bokhoni bo phahameng. Haholo-holo ho qhekelleng ha thepa e nang le silicon joalo ka silicon nitride, e na le sekhahla se phahameng sa ho qhekella le khetho, e sa siee masalla holim'a ntho e qhekelitsoeng. Hape ke sesebelisoa se setle haholo sa ho hloekisa 'me ha se na tšilafalo holim'a bokaholimo, e ka fihlelang litlhoko tsa ts'ebetso ea ts'ebetso.
Nako ea poso: Loetse 14-2024
