Palo e Kholo ka ho Fetisisa ea Khase e Ikhethang ea Elektronike - Nitrogen Trifluoride NF3

Indasteri ea naha ea rona ea li-semiconductor le indasteri ea liphanele e boloka boemo bo phahameng ba katleho. Trifluoride ea naetrojene, e le khase ea elektroniki e ikhethang ea bohlokoa le e kholo ka ho fetisisa tlhahisong le ts'ebetsong ea liphanele le li-semiconductor, e na le sebaka se seholo sa 'maraka.

Likhase tse khethehileng tsa elektroniki tse nang le fluorine tse sebelisoang hangata li kenyelletsasebabole hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),tetrafluoride ea khabone (CF4), trifluoromethane (CHF3), naetrojene trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) le octafluoropropane (C3F8). Naetrojene trifluoride (NF3) e sebediswa haholoholo e le mohlodi wa fluorine bakeng sa di-laser tsa dikhemikhale tse nang le matla a mangata tsa hydrogen fluoride-fluoride. Karolo e sebetsang (e ka bang 25%) ya matla a karabelo pakeng tsa H2-O2 le F2 e ka lokollwa ke mahlaseli a laser, kahoo di-laser tsa HF-OF ke di-laser tse tshepisang ka ho fetisisa hara di-laser tsa dikhemikhale.

Naetrojene trifluoride ke khase e ntle haholo ea ho hlaba ka plasma indastering ea microelectronics. Bakeng sa ho hlaba ka silicon le silicon nitride, naetrojene trifluoride e na le sekhahla se phahameng sa ho hlaba le ho khetha ho feta carbon tetrafluoride le motsoako oa carbon tetrafluoride le oksijene, 'me ha e na tšilafalo holim'a metsi. Haholo-holo ho hlabang ha thepa ea potoloho e kopaneng e nang le botenya ba ka tlase ho 1.5um, naetrojene trifluoride e na le sekhahla se setle haholo sa ho hlaba le ho khetha, e sa siee masalla holim'a ntho e hlabang, 'me hape ke sesebelisoa se setle haholo sa ho hloekisa. Ka nts'etsopele ea nanotechnology le nts'etsopele e kholo ea indasteri ea lisebelisoa tsa elektroniki, tlhoko ea eona e tla eketseha letsatsi le letsatsi.

Jwalo ka mofuta wa kgase e ikgethang e nang le fluorine, nitrogen trifluoride (NF3) ke sehlahiswa se seholo ka ho fetisisa sa kgase e ikgethang ya elektroniki mmarakeng. Ha e na dikhemikhale mochesong wa kamore, e sebetsa ho feta oksijene, e tsitsitse ho feta fluorine, mme e bonolo ho e sebetsana le mochesong o phahameng.

Naetrojene trifluoride e sebediswa haholoholo e le moemedi wa ho hlwekisa khase e ntshang plasma le kamore ya karabelo, e loketseng masimo a tlhahiso a kang di-semiconductor chips, di-flat panel displays, di-optical fibers, di-photovoltaic cells, jj.

Ha e bapisoa le likhase tse ling tsa elektroniki tse nang le fluorine, naetrojene trifluoride e na le melemo ea karabelo e potlakileng le bokhoni bo phahameng, haholo-holo ho qhekelleng ha thepa e nang le silicon joalo ka silicon nitride, e na le sekhahla se phahameng sa ho qhekella le khetho, ha e siee masalla holim'a ntho e qhekelitsoeng, 'me hape ke sesebelisoa se setle haholo sa ho hloekisa, 'me ha e silafatse bokaholimo 'me e ka fihlela litlhoko tsa ts'ebetso ea ts'ebetso.