Ts'ebetsong ea tlhahiso ea li-foundry tsa semiconductor wafer tse nang le lits'ebetso tsa tlhahiso tse tsoetseng pele, ho hlokahala mefuta e ka bang 50 e fapaneng ea likhase. Likhase ka kakaretso li arotsoe ka likhase tse ngata lelikhase tse khethehileng.

Tšebeliso ea likhase indastering ea li-microelectronic le ea li-semiconductor Tšebeliso ea likhase esale e bapala karolo ea bohlokoa lits'ebetsong tsa li-semiconductor, haholo-holo lits'ebetso tsa li-semiconductor li sebelisoa haholo indastering e fapaneng. Ho tloha ho ULSI, TFT-LCD ho ea indastering ea hona joale ea li-micro-electromechanical (MEMS), lits'ebetso tsa li-semiconductor li sebelisoa e le lits'ebetso tsa tlhahiso ea lihlahisoa, ho kenyeletsoa le ho omella ka omileng, oxidation, ho kenngoa ha li-ion, ho beoa ha filimi e tšesaane, jj.

Mohlala, batho ba bangata ba tseba hore di-chip di entswe ka lehlabathe, empa ha re sheba tshebetso yohle ya tlhahiso ya di-chip, ho hlokahala thepa e eketsehileng, jwalo ka photoresist, polishing mokelikeli, thepa e shebilweng, khase e ikgethang, jj. di bohlokwa haholo. Sephutheloana sa morao se boetse se hloka di-substrate, di-interposer, diforeimi tsa lead, thepa ya ho kopanya, jj. ya thepa e fapaneng. Dikhase tse ikgethang tsa elektroniki ke thepa ya bobedi e kgolo ka ho fetisisa ditjeong tsa tlhahiso ya semiconductor kamora di-wafer tsa silicon, e latelwa ke dimaske le di-photoresists.

Bohloeki ba khase bo na le tšusumetso e matla tshebetsong ya dikarolo le tlhahiso ya dihlahiswa, mme polokeho ya phepelo ya khase e amana le bophelo bo botle ba basebetsi le polokeho ya tshebetso ya fektheri. Ke hobaneng ha bohloeki ba khase bo na le tshusumetso e kgolo hakaale moleng wa tshebetso le basebetsi? Hona ha se ho feteletsa ditaba, empa ho laolwa ke dibopeho tse kotsi tsa khase ka boyona.

Tlhophiso ea likhase tse tloaelehileng indastering ea semiconductor

Khase e Tloaelehileng

Khase e tloaelehileng e boetse e bitsoa khase e kholo: e bolela khase ea indasteri e nang le tlhoko ea bohloeki e ka tlase ho 5N le bophahamo bo boholo ba tlhahiso le thekiso. E ka aroloa ka khase ea karohano ea moea le khase ea maiketsetso ho latela mekhoa e fapaneng ea ho lokisa. Haedrojene (H2), naetrojene (N2), oksijene (O2), argon (A2), jj.;

Khase e Ikhethang

Khase e khethehileng e bolela khase ea indasteri e sebelisoang masimong a itseng 'me e na le litlhoko tse khethehileng bakeng sa bohloeki, mefuta le thepa.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… joalo joalo.

Mefuta ea likhase tsa Spicial

Mefuta ea likhase tse khethehileng: tse senyang, tse chefo, tse tukang, tse tšehetsang ho cha, tse sa sebetseng, jj.
Likhase tsa semiconductor tse sebelisoang hangata li arotsoe ka tsela e latelang:
(i) E senya/e chefo:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…
(ii) E ka tukang: H2,CH4、SiH4,PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO...
(iii) E ka tukang: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Sebaka se sa sebetseng: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6CO2,Ne、Kr、O…

Mokgweng wa tlhahiso ya di-chip tsa semiconductor, mefuta e ka bang 50 e fapaneng ya dikgase tse ikgethang (tse bitswang dikgase tse ikgethang) e sebediswa ho oxidation, diffusion, deposition, etching, ente, photolithography le ditshebetso tse ding, mme mehato yohle ya tshebetso e feta makgolo. Mohlala, PH3 le AsH3 di sebediswa e le mehlodi ya phosphorus le arsenic tshebetsong ya ho kenya di-ion, dikgase tse thehilweng ho F CF4, CHF3, SF6 le halogen gases CI2, BCI3, HBr di sebediswa hangata tshebetsong ya ho etching, SiH4, NH3, N2O tshebetsong ya filimi ya deposition, F2/Kr/Ne, Kr/Ne tshebetsong ya photolithography.

Ho tsoa lintlheng tse ka holimo, re ka utloisisa hore likhase tse ngata tsa semiconductor li kotsi 'meleng oa motho. Haholo-holo, likhase tse ling, tse kang SiH4, lia ithoka. Hafeela li lutla, li tla arabela ka matla ha oksijene e le moeeng 'me li qale ho cha; 'me AsH3 e chefo haholo. Ho lutla ho honyenyane ho ka baka kotsi maphelong a batho, kahoo litlhoko tsa polokeho ea moralo oa sistimi ea taolo bakeng sa ts'ebeliso ea likhase tse khethehileng li phahame haholo.

Li-semiconductor li hloka likhase tse hloekileng haholo hore li be le "likhato tse tharo"

Bohloeki ba khase

Dikahare tsa sepakapaka sa ho se hlweke ka hara khase hangata di hlahiswa e le peresente ya bohloeki ba khase, jwalo ka 99.9999%. Ka kakaretso, tlhoko ya bohloeki bakeng sa dikhase tse ikgethang tsa elektroniki e fihla ho 5N-6N, mme e boetse e hlahiswa ke karolelano ya bophahamo ba dikahare tsa sepakapaka sa ho se hlweke ppm (karolo ka milione), ppb (karolo ka bilione), le ppt (karolo ka trilione). Tshimo ya semiconductor ya elektroniki e na le ditlhoko tse hodimo bakeng sa bohloeki le botsitso ba boleng ba dikhase tse ikgethang, mme bohloeki ba dikhase tse ikgethang tsa elektroniki ka kakaretso bo feta 6N.

Ho omella

Dikahare tsa metsi a setseng ka hara kgase, kapa mongobo, hangata di hlahiswa ntlheng ya phoka, jwalo ka ntlha ya phoka ya sepakapaka -70℃.

Bohloeki

Palo ea likaroloana tse silafatsang ka har'a khase, likaroloana tse nang le boholo ba karoloana ea µm, e hlahisoa ka hore na ke likaroloana tse kae/M3. Bakeng sa moea o hatelletsoeng, hangata e hlahisoa ka mg/m3 ea masala a tiileng a ke keng a qojoa, a kenyeletsang oli.