Ka lebaka la lits'ebeletso tse ntle, mefuta e mengata ea lihlahisoa tsa boleng bo phahameng, litheko tsa tlholisano, litheko tse sebetsang, re thabela botumo bo botle har'a bareki ba rona. Re na le k'hamphani e mahlahahlaha e nang le 'maraka o pharaletseng bakeng sa barekisi ba lihloohoChina Carbon Tetrafluoride CF4Khase ea elektroniki, re tšepe 'me u tla fumana tse ling haholo. Etsa bonnete ba hore u tla ikutloa u lokolohile ho ikopanya le rona bakeng sa tlhaiso-leseling e eketsehileng, re u tiisetsa hore re ka hlokomeleha ka linako tsohle.
Ka lebaka la lits'ebeletso tse ntle, mefuta e mengata ea lihlahisoa tsa boleng bo phahameng, litheko tsa tlholisano, litheko tse sebetsang, re thabela botumo bo botle har'a bareki ba rona. Re khamphani e mahlahahlaha e nang le 'marabele oaCF4, China Carbon Tetrafluoride, Re lula re etsa theknoloji e ncha ea ho tsamaisa tlhahiso, le thepa ea phepelo e nang le litheko tsa tlholisano le boleng bo phahameng! Khotsofalo ea bareki ke eona ntho e tlang pele bophelong ba rona! U ka re lumella ho tseba mohopolo oa hau hore re be le moralo oa hau o ikhethang bakeng sa mohlala oa hau ho thibela likarolo tse tšoanang le tse tšoanang. Re tla fana ka tšebeletso ea rona e ntle ea ho khotsofatsa litlhoko tsohle tsa hau! Etsa bonnete ba hore u ikopanya le rona hanghang!
TLHOKOMELISO | 99.999% |
Oksijene + ea oksijene + | ≤1ppm |
Nitrogen | ≤4 PPM |
Mongobo (H2O) | ≤3 PPM |
HF | ≤0.1 PPM |
CO | ≤0.1 PPM |
Co2 | ≤1 PPM |
SF6 | ≤1 PPM |
Halocarbynes | ≤1 PPM |
LITLHAKISO TSA BOPHELO | ≤10 PPM |
Khabone tetrafluoride ke hydrocarborbon e hapugrocan e nang le foromo ea lik'hemik'haleCF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.
① sehatsetsi:
Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.
② Etching:
E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene
Sehlahisoa | Carbon Tetrafluoride Cf4 | ||
Boholo ba sephutheloana | 40lr silindar | 50ltr silindar | |
Ho tlatsa boima ba 'mele / cyl | 30Kgs | 38Kgs | |
Qty e imetsoe ka 20'container | Li-cons tse 250 | Li-cons tse 250 | |
Boima bo felletseng ba matlo | Lithane tse 7.5 | Lithane tsa 9.5 | |
Cylindar Tare Boima | 50KGs | 55kgs | |
Valve | CGA 580 |
Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;
Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;
PUSELETSO;
Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;
Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Ka lebaka la lits'ebeletso tse ntle, mefuta e mengata ea lihlahisoa tsa boleng bo phahameng, litheko tsa tlholisano, litheko tse sebetsang, re thabela botumo bo botle har'a bareki ba rona. Re na le k'hamphani e mahlahahlaha e nang le 'maraka o tukang bakeng sa barekisi ba tobileng China Carbon Tetrafluoride CF4 Etsa bonnete ba hore u tla ikutloa u lokolohile ho ikopanya le rona bakeng sa tlhaiso-leseling e eketsehileng, re u tiisetsa hore re ka hlokomeleha ka linako tsohle.
Barekisi ba Machaena China Carbon Tetrafluooride, Cf4, re lula re etsa theknoloji e ncha ea ho tsamaisa tlhahiso le boleng bo phahameng! Khotsofalo ea bareki ke eona ntho e tlang pele bophelong ba rona! U ka re lumella ho tseba mohopolo oa hau hore re be le moralo oa hau o ikhethang bakeng sa mohlala oa hau ho thibela likarolo tse tšoanang le tse tšoanang. Re tla fana ka tšebeletso ea rona e ntle ea ho khotsofatsa litlhoko tsohle tsa hau! Etsa bonnete ba hore u ikopanya le rona hanghang!