Tukten Hexafluoride (WF6) e behiloe holim 'a leholiolong ka ts'ebetso ea CVD, e tlatsa puo ea tšepe e mengata lipakeng tsa likarolo tse pakeng tsa likarolo.
Ha re bue ka plasma pele. Plasma ke mofuta oa taba e entsoe ka li-elektrone tsa mahala le li-Ion tse qositsoeng. E fumaneha ka bophara bokahohleng mme hangata e nkuoa e le boemo ba bone ba taba. E bitsoa Naha ea Plasma, e boetse e bitsoa "Plasma". Plasma e na le boitšoaro bo phahameng ba motlakase 'me o na le phello e matla e nang le phello e matla ka lebaleng la electribela. Ke khase e ise ka tloaelo, e entsoe ka lielektrone, Ions, li-radicals tsa mahala, likaroloana tsa ho se nke lehlakore le lifoto. Lipolas ke motsoako o sa jeleng motlakase o nang le matla le likaroloana tse sebetsang ka lik'hemi.
Tlhaloso e otlolohileng ke eona ts'ebetso ea matla a mangata, balese oa lik'hemik'hale o tla hlola Ka nako e ts'oanang, matla a phahameng a ne a kena kantle ho naha a hlola matla a mararo a kaholimo. Ts'ebetso, li-electrons le li-Ions tsa mahala, tse ka sebelisoang ka boomo ka tlasa ts'ebetso ea matla a khoheli, acce le ho qala.
Matla a phahameng ke afe? Ka khopolo, mocheso o phahameng le o phahameng oa maqhubu a mangata a ka sebelisoang. Ka kakaretso, mocheso o phahameng o batla o le thata ho o fihlela. TLHOKOMELISO ena ea mocheso e phahame haholo ebile e ka ba haufi le mocheso oa letsatsi. Ho hlile ho thata ho e etsa ts'ebetsong. Ka hona, indasteri hangata e sebelisa khafetsa ho e fihlella. Plasma rf e ka fihla holimo joalo ka 13mhz +.
Tukten Hxafluorluor e plasmatide tlasa ketso ea tšimo ea motlakase, ebe e beoa ka mofere-fere. W Liatho li tšoana le masimo a mariha a mariha 'me u oele fatše tlas'a ketso ea khoheli. Butle-butle, liathomo li kena ka mekoting, 'me qetellong li tlatse likotlo ho ea theha likhutlo tsa tšepe. Ntle le ho beha liathomo tse nang le liathomo ka likoting, na le tsona li tla kenngoa holim'a sekhobo? Ho joalo, ho joalo. Ka kakaretso, o ka sebelisa ts'ebetso ea W-cmp, e leng seo re se bitsang tšebetso ea ho silakanya ho tlosa. Hoa tšoana le ka ho sebelisa lefielo ho fiela fatše ka mor'a lehloa le boima. Lehloa le fatše le filoe, empa lehloa le ka sekoting se tla sala. Tlase, e lekanang.
Nako ea poso: Dec-24-2021
