Tungsten hexafluoride (WF6) e kenngoa ka holim'a sephaphatha ka mokhoa oa CVD, ho tlatsa liforo tsa tšepe tse hokahantsoeng, 'me ho etsa marang-rang a tšepe pakeng tsa lihlopha.
Ha re bue ka plasma pele. Plasma ke mofuta oa taba e entsoeng haholo-holo ka lielektrone tse sa lefelloeng le li-ion tse qosoang. E teng hohle bokahohleng ’me hangata e nkoa e le boemo ba bone ba lintho. E bitsoa boemo ba plasma, hape bo bitsoa "plasma". Plasma e na le conductivity e phahameng ea motlakase 'me e na le phello e matla ea ho kopanya le lebala la motlakase. Ke khase e nang le ionized ka mokhoa o sa fellang, e entsoeng ka lielektrone, li-ion, li-radicals tsa mahala, likaroloana tse sa nke lehlakore le photon. Plasma ka boeona ke motsoako oa motlakase o sa nke lehlakore o nang le likaroloana tse sebetsang 'meleng le lik'hemik'hale.
Tlhaloso e tobileng ke hore tlas'a ketso ea matla a phahameng, molek'hule e tla hlōla matla a van der Waals, matla a bond ea lik'hemik'hale le matla a Coulomb, 'me a hlahise mofuta oa motlakase o sa nke lehlakore ka kakaretso. Ka nako e ts'oanang, matla a phahameng a fanoang ke ka ntle a hlōla matla a mararo a ka holimo. Mosebetsi, lielektrone le li-ion li fana ka boemo bo sa lefelloeng, bo ka sebelisoang ka mokhoa oa maiketsetso tlas'a ho feto-fetoha ha matla a khoheli, joalo ka mokhoa oa semiconductor etching, CVD process, PVD le IMP process.
Matla a phahameng ke eng? Ka khopolo, ka bobeli mocheso o phahameng le maqhubu a phahameng a RF a ka sebelisoa. Ka kakaretso, mocheso o phahameng o batla o sa khonehe ho o fihlela. Tlhokahalo ena ea mocheso e phahame haholo 'me e ka ba haufi le mocheso oa letsatsi. Ha e le hantle ho ke ke ha khoneha ho finyella ts'ebetsong. Ka hona, indasteri hangata e sebelisa RF ea maqhubu a holimo ho e fihlela. Plasma RF e ka fihla holimo ho 13MHz+.
Tungsten hexafluoride e tšeloa ka plasma tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase, ebe mouoane o kenngoa ke matla a khoheli. Liathomo tsa W li tšoana le masiba a likhantsi tsa mariha 'me li oela fatše tlas'a ketso ea matla a khoheli. Butle-butle, liathomo tsa W li kenngoa ka har'a masoba, 'me qetellong li tlatsitsoe ka likoti ho etsa likhokahano tsa tšepe. Ntle le ho kenya liathomo tsa W ka har'a masoba, na li tla beoa ka holim'a Wafer? E, ka sebele. Ka kakaretso, o ka sebelisa ts'ebetso ea W-CMP, e leng seo re se bitsang mokhoa oa ho sila oa mochini ho tlosa. Ho tšoana le ho fiela lefielo fatše ka mor'a lehloa le lengata. Lehlwa le fatsheng le hoholehile, empa lehlwa le ka sekoting le fatshe le tla sala. Ho theoha, ho batla ho tšoana.
Nako ea poso: Dec-24-2021
