Tungsten hexafluoride (WF6) e beoa holim'a wafer ka mokhoa oa CVD, e tlatsa liforo tsa ho hokela tšepe, 'me e etsa khokahano ea tšepe pakeng tsa mekhahlelo.
A re bueng ka plasma pele. Plasma ke mofuta oa taba e entsoeng haholo-holo ka lielektrone tse lokolohileng le li-ion tse tjhajisitsoeng. E teng haholo bokahohleng 'me hangata e nkoa e le boemo ba bone ba taba. E bitsoa boemo ba plasma, hape e bitsoa "Plasma". Plasma e na le conductivity e phahameng ea motlakase 'me e na le phello e matla ea ho kopana le tšimo ea electromagnetic. Ke khase e nang le ionized ka karolo e itseng, e entsoeng ka lielektrone, li-ion, li-radical tse lokolohileng, likaroloana tse sa nke lehlakore le li-photon. Plasma ka boeona ke motsoako o sa nke lehlakore oa motlakase o nang le likaroloana tse sebetsang 'meleng le lik'hemik'hale.
Tlhaloso e tobileng ke hore tlas'a ketso ea matla a phahameng, molek'hule e tla hlola matla a van der Waals, matla a tlamahano ea lik'hemik'hale le matla a Coulomb, 'me e hlahise mofuta oa motlakase o sa nke lehlakore ka kakaretso. Ka nako e ts'oanang, matla a phahameng a fanoang ke kantle a hlola matla a mararo a boletsoeng ka holimo. Mosebetsi, lielektrone le li-ion li hlahisa boemo bo lokolohileng, bo ka sebelisoang ka maiketsetso tlas'a phetoho ea matla a makenete, joalo ka ts'ebetso ea ho betla ea semiconductor, ts'ebetso ea CVD, ts'ebetso ea PVD le IMP.
Matla a phahameng ke eng? Ka khopolo-taba, mocheso o phahameng le maqhubu a phahameng a RF li ka sebelisoa. Ka kakaretso, mocheso o phahameng o batla o sa khonehe ho o finyella. Tlhokahalo ena ea mocheso e phahame haholo 'me e ka ba haufi le mocheso oa letsatsi. Ha e le hantle ho ke ke ha khoneha ho e finyella ts'ebetsong. Ka hona, indasteri hangata e sebelisa maqhubu a phahameng a RF ho e fihlela. Plasma RF e ka fihla holimo ho 13MHz+.
Tungsten hexafluoride e tshelwa ka plasma tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase, ebe e bolokoa ka mouoane ke tšimo ea makenete. Liathomo tsa W li tšoana le masiba a likhantsi tsa mariha 'me li oela fatše tlas'a ts'ebetso ea matla a khoheli. Butle-butle, liathomo tsa W li kenngoa ka har'a masoba a phunyeletsang, 'me qetellong li tlatsoa ka masoba a felletseng ho etsa likhokahano tsa tšepe. Ntle le ho kenya liathomo tsa W ka har'a masoba a phunyeletsang, na li tla boela li behoe holim'a Wafer? E, ka sebele. Ka kakaretso, u ka sebelisa ts'ebetso ea W-CMP, e leng seo re se bitsang ts'ebetso ea ho sila ea mechini ho e tlosa. Ho tšoana le ho sebelisa lefielo ho fiela fatše ka mor'a lehloa le leholo. Lehloa le fatše lea hoholeha, empa lehloa le ka har'a lesoba le fatše le tla sala. Le theohile, le batla le tšoana.
Nako ea poso: Tshitwe-24-2021
