Karolo ea sulfur hexafluoride ho silicon nitride etching

Sulfur hexafluoride ke khase e nang le thepa e babatsehang ea ho sireletsa 'me e atisa ho sebelisoa ho tima arc e phahameng-voltage le li-transformer, li-transmission line tse matla, li-transformer, joalo-joalo. . Electronic grade high-purity sulfur hexafluoride ke etchant e loketseng ea elektroniki, e sebelisoang haholo lefapheng la theknoloji ea microelectronics. Kajeno, mohlophisi oa khase e khethehileng ea Niu Ruide Yueyue o tla hlahisa ts'ebeliso ea sulfur hexafluoride ho silicon nitride etching le tšusumetso ea liparamente tse fapaneng.

Re buisana ka SF6 plasma etching SiNx process, ho kenyelletsa ho fetola matla a plasma, karo-karolelano ea khase ea SF6 / He le ho eketsa khase ea cationic O2, ho buisana ka tšusumetso ea eona ho sekhahla sa ts'ireletso ea SiNx element ea TFT, le ho sebelisa mahlaseli a plasma spectrometer e sekaseka liphetoho tsa mahloriso tsa mofuta o mong le o mong ho SF6/He, SF6/He/O2 plasma le sekhahla sa ho arohana ha SF6, ’me e hlahloba kamano pakeng tsa phetoho ea sekhahla sa SiNx etching le mahloriso a mefuta ea plasma.

Liphuputso li fumane hore ha matla a plasma a ntse a eketseha, sekhahla sa etching sea eketseha; haeba sekhahla sa phallo ea SF6 ho plasma se eketseha, khatello ea athomo ea F e ea eketseha 'me e amana hantle le sekhahla sa etching. Ho phaella moo, ka mor'a ho eketsa khase ea cationic O2 tlas'a tekanyo e tsitsitseng ea phallo ea phallo, e tla ba le phello ea ho eketsa sekhahla sa etching, empa tlas'a likarolo tse fapaneng tsa phallo ea O2 / SF6, ho tla ba le mekhoa e fapaneng ea ho itšoara, e ka aroloa likarolo tse tharo. : (1) Palo ea phallo ea O2 / SF6 e nyenyane haholo, O2 e ka thusa ho arohana ha SF6, 'me tekanyo ea ho kheloha ka nako ena e kholo ho feta ha O2 e sa eketsoe. (2) Ha tekanyo ea phallo ea O2 / SF6 e kholo ho feta 0.2 ho ea ho nako e atamelang 1, ka nako ena, ka lebaka la palo e kholo ea ho arohana ha SF6 ho theha liathomo tsa F, tekanyo ea etching ke e phahameng ka ho fetisisa; empa ka nako e ts'oanang, liathomo tsa O tse plasma le tsona lia eketseha 'me Ho bonolo ho theha SiOx kapa SiNxO(yx) ka sefahleho sa filimi ea SiNx,' me ha liathomo tsa O li ntse li eketseha, liathomo tsa F li tla ba thata le ho feta bakeng sa etching reaction. Ka lebaka leo, tekanyo ea etching e qala ho fokotseha ha tekanyo ea O2 / SF6 e le haufi le 1. (3) Ha tekanyo ea O2 / SF6 e le kholo ho feta 1, tekanyo ea etching e fokotseha. Ka lebaka la keketseho e kholo ea O2, liathomo tsa F tse arohaneng li thulana le O2 le mofuta oa OF, e leng ho fokotsang bongata ba liathomo tsa F, e leng se bakang ho fokotseha ha sekhahla sa ho hlaba. Ho ka bonoa ho sena hore ha O2 e eketsoa, ​​tekanyo ea phallo ea O2 / SF6 e pakeng tsa 0.2 le 0.8, 'me tekanyo e ntle ka ho fetisisa ea etching e ka fumanoa.