Hexafluoride ea sebabole ke khase e nang le thepa e ntle ea ho thibela mocheso 'me hangata e sebelisoa ho tima li-arc tse nang le motlakase o phahameng le li-transformer, mela ea phetisetso ea motlakase o phahameng, li-transformer, jj. Leha ho le joalo, ntle le mesebetsi ena, hexafluoride ea sebabole e ka boela ea sebelisoa e le sehokelo sa elektroniki. Hexafluoride ea sebabole ea boemo bo holimo ke sehokelo se setle sa elektroniki, se sebelisoang haholo lefapheng la theknoloji ea microelectronics. Kajeno, mohlophisi oa khase ea khethehileng ea Niu Ruide Yueyue o tla hlahisa ts'ebeliso ea sehokelo sa sulfure hexafluoride ho etching ea silicon nitride le tšusumetso ea liparamente tse fapaneng.
Re buisana ka mokhoa oa ho phunya SiNx ka plasma oa SF6, ho kenyeletsoa le ho fetola matla a plasma, karolelano ea khase ea SF6/He le ho eketsa khase ea cationic O2, re buisana ka tšusumetso ea eona ho sekhahla sa ho phunya sa lera la tšireletso ea likarolo tsa SiNx la TFT, le ho sebelisa mahlaseli a plasma. Spectrometer e sekaseka liphetoho tsa mahloriso tsa mofuta o mong le o mong ho plasma ea SF6/He, SF6/He/O2 le sekhahla sa karohano ea SF6, 'me e hlahloba kamano pakeng tsa phetoho ea sekhahla sa ho phunya SiNx le mahloriso a mefuta ea plasma.
Lithuto li fumane hore ha matla a plasma a eketseha, sekhahla sa ho hlaba sea eketseha; haeba sekhahla sa phallo ea SF6 plasma se eketseha, mahloriso a athomo ea F aa eketseha 'me a amana hantle le sekhahla sa ho hlaba. Ho phaella moo, kamora ho eketsa khase ea cationic O2 tlas'a sekhahla se tsitsitseng sa phallo, e tla ba le phello ea ho eketsa sekhahla sa ho hlaba, empa tlas'a likarohano tse fapaneng tsa phallo ea O2/SF6, ho tla ba le mekhoa e fapaneng ea karabelo, e ka aroloang likarolo tse tharo: (1) Karolelano ea phallo ea O2/SF6 e nyane haholo, O2 e ka thusa ho arohana ha SF6, 'me sekhahla sa ho hlaba ka nako ena se seholo ho feta ha O2 e sa eketsoa. (2) Ha karolelano ea phallo ea O2/SF6 e feta 0.2 ho isa ho nako e atamelang 1, ka nako ena, ka lebaka la bongata bo boholo ba ho arohana ha SF6 ho theha liathomo tsa F, sekhahla sa ho hlaba ke se phahameng ka ho fetisisa; empa ka nako e ts'oanang, liathomo tsa O tse plasma le tsona lia eketseha 'me Ho bonolo ho theha SiOx kapa SiNxO(yx) ka bokaholimo ba filimi ea SiNx, 'me ha liathomo tsa O li ntse li eketseha, liathomo tsa F li tla ba thata haholo bakeng sa karabelo ea ho hlaba. Ka hona, sekhahla sa ho hlaba se qala ho fokotseha ha karolelano ea O2/SF6 e le haufi le 1. (3) Ha karolelano ea O2/SF6 e le kholo ho feta 1, sekhahla sa ho hlaba sea fokotseha. Ka lebaka la keketseho e kholo ea O2, liathomo tsa F tse arohaneng li thulana le O2 le mofuta oa OF, e leng se fokotsang mahloriso a liathomo tsa F, e leng se fellang ka phokotso ea sekhahla sa ho hlaba. Ho ka bonoa ho sena hore ha O2 e eketsoa, karolelano ea phallo ea O2/SF6 e pakeng tsa 0.2 le 0.8, 'me sekhahla se setle sa ho hlaba se ka fumanoa.
Nako ea poso: Tshitwe-06-2021
