Hydrogen chlorideke khase e se nang mebala e nang le monko oa pulung. Tharollo ea eona ea halefileng e bitsoa hydrocloric acid, hape e tsejoa e le hydrochloric acid. Hydrogen chloride e qhibiliha haholo metsing. Ka 0 ° C, bophahamo ba metsi a ka qhala libuka tse ka bang 500 tsa hydrogen chlorade.

E na le thepa le litšobotsi tse latelang:

1. Bohloeki bo phahameng

Bohloeki ba sehlopha sa elektronikihydrogen chloridee phahame haholo, hangata ho PPM kapa boemo bo tlase, ho netefatsa hore ha ho na litšila tse hlahisoang ts'ebetsong ea semiconductor.

2. Ho hloka toka

Ke khase e kenang lik'hemi tse sa arabeheng ka lintho tse ling tse ngata, tse bohlokoa haholo ho thibela tšilafalo ea thepa ea semiconductor lisebelisoa le lisebelisoa.

3. Ho tsitsa haholo

Mokhatlo oa Elektronikihydrogen chlorideKa kakaretso e na le k'hemik'hale e tsitsitseng ho netefatsa ts'ebetso e tšepahalang ea semicouctor.

Ts'ebetsong ea semiconductor e ntse e sebetsa, likopo tse ka sehloohong tsa sehlopha sa li-hydrogen sa hydrogenm se kenyelletsa:

1. Ho hloekisa le ho itokisetsa

Joalo ka sephara se sebetsang hantle, mophato oa elektronikihydrogen chloridee sebelisoa ho tlosa li-oxides le litšila tse tsoang sebakeng se phahameng ho netefatsa boleng le bohloeki ba sebopeho sa li-epitaxia kapa filimi.

Tsebiso ea Thretional 2.

E sebelisoa e le moemeli oa kalafo ea nang le likarolo, o thusa ho ntlafatsa sebopeho sa karolo eapitaxia, le ho fokotsa ho theha bofokoli ba likepe.

3. Karolelano ea karolelano

Pele ho itokisetsa ha lisebelisoa tsa semiconductor, sehlopha sa elektronikihydrogen chloridee ka sebelisoa ho phekola sebaka se ka tlase ho theha setsi se tsitsitseng ho ntlafatsa phallo pakeng tsa karolo eapitaxial le substrate.

4. TLHOKOMELISO MOLEMO

Ts'ebetsong ea depositi ea vakona (cvd) kapa deposition ea mouoane oa motlakase.

5. Moemeli oa phetisetso ea khase

E le moemeli oa ho fetisetsa khase ea khase, bao aredofeta ba gase ba kentsoeng ka phapusing ea Rection ho thusa ho lokisa sekhahla sa polokelo le se ts'oanang sa thepa eo.

Litšobotsi tsena li etsa sehlopha sa elektronikihydrogen chlorideMoemeli oa bohlokoa oa ts'ebetso oa ts'ebetso ho Semecouctor Theknoloji, e nang le tšusumetso ea bohlokoa ts'ebetsong le ho ts'epahala ha sesebelisoa sa ho qetela.

Ntle le tšebeliso ea eona ho ts'ebetso ea semicondctor, hydrogen "

Ka kakaretso, sehlopha sa elektronikihydrogen chlorideke khase e fapaneng ea bohloeki, e thata e nang le likopo tse fapaneng ka ntle ho likopo tse ka ntle ho semiconductor