Hydrogen chlorideke khase e se nang 'mala e nang le monko o bohale. Tharollo ea eona ea metsi e bitsoa hydrochloric acid, e tsejoang hape e le hydrochloric acid. Hydrogen chloride e qhibiliha haholo metsing. Ha e le mochesong oa 0°C, moqolo o le mong oa metsi o ka qhala meqolo e ka bang 500 ea hydrogen chloride.

E na le litšobotsi le litšobotsi tse latelang:

1. Bohloeki bo phahameng

Bohloeki ba sehlopha sa elektronikihydrogen chloridee phahame haholo, hangata e le boemong ba ppm kapa bo tlase, ho netefatsa hore ha ho na litšila tse kenngoang ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor.

2. Ho hloka botsitso

Ke khase e sa sebetseng ka lik'hemik'hale e sa arabeleng le lintho tse ling tse ngata, e leng habohlokoa haholo ho thibela tšilafalo ea thepa le lisebelisoa tsa semiconductor.

3. Botsitso bo phahameng

Sehlopha sa elektronikihydrogen chlorideka kakaretso e na le k'hemistri e tsitsitseng ho netefatsa ts'ebetso e tšepahalang ea semiconductor.

Ts'ebetsong ea semiconductor, lits'ebetso tse ka sehloohong tsa hydrogen chloride ea elektroniki li kenyelletsa:

1. Ho hlwekisa le ho lokisa bokaholimo

E le sesebelisoa se sebetsang hantle sa ho hlwekisa bokaholimo, sa elektronikihydrogen chloridee sebediswa ho tlosa di-oxide le ditshila hodima bokahodimo ba substrate ho netefatsa boleng le bohlweki ba lera kapa filimi ya epitaxial.

2. Thuso ea kholo ea Epitaxial

E sebelisoa e le sesebelisoa sa kalafo ea bokaholimo ts'ebetsong ea epitaxial, e thusa ho ntlafatsa boleng ba lera la epitaxial, ho ntlafatsa ho bapisa lera la lattice, le ho fokotsa ho thehoa ha liphoso tsa lattice.

3. Kalafo ea pele ho substrate

Pele ho lokisoa lisebelisoa tsa semiconductor, tekanyo ea elektronikihydrogen chloridee ka sebelisoa ho phekola bokaholimo ba substrate ho theha motheo o tsitsitseng ho ntlafatsa ho khomarela pakeng tsa lera la epitaxial le substrate.

4. Moemeli ea thusang oa ho tlosa sebaka

Mokhoeng oa ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale (CVD) kapa ho kenngoa ha mouoane oa 'mele (PVD), hydrogen chloride ea sehlopha sa elektroniki e ka sebelisoa e le sesebelisoa sa phetisetso ea mokhahlelo oa khase ho nka karolo karabelong ea ho kenngoa ha thepa ea semiconductor.

5. Moemeli oa phetisetso ea karolo ea khase

Jwalo ka moemedi wa phetisetso ya kgase, di-precursor tse ding tsa kgase di kenngwa ka phaposing ya karabelo ho thusa ho lokisa sekgahla sa ho bewa le ho tshwana ha thepa.

Litšobotsi tsena li etsa hore ho be le maemo a elektronikihydrogen chloridemoemeli oa bohlokoa oa ts'ebetso theknolojing ea semiconductor, e nang le tšusumetso ea bohlokoa ts'ebetsong le botšepehing ba sesebelisoa sa ho qetela.

Ntle le ts'ebeliso ea eona ts'ebetsong ea semiconductor, hydrogen chloride ea sehlopha sa elektroniki e ka fumana ts'ebeliso e fapaneng libakeng tse ling, ho kenyeletsoa: Ho lokisa thepa e hloekileng haholo, Lisele tsa Mafura, Kholo ea thepa ea Semiconductor, Lithography ea Mocheso oa Mouoane, Tlhahlobo ea Thepa, Lipatlisiso tsa Lik'hemik'hale.

Ka kakaretso, sehlopha sa elektronikihydrogen chlorideke khase e feto-fetohang, e hloekileng haholo e nang le mefuta e mengata ea lits'ebetso kantle ho tlhahiso ea semiconductor.