Khase e rekisoang haholo ea Chaena e Hloekileng ka ho Fetisisa ea Tetrafluoride CF4 bakeng sa ho Etching Indasteri ea Semiconductor

Re etsa moea oa rona oa "Boqapi bo tlisang tsoelo-pele, Boleng bo phahameng bo etsang hore lintho li ikemele, Melemo ea tsamaiso ea papatso, lintlha tsa mokitlane tse hohelang bareki bakeng sa Khase e rekisoang haholo ea Chaena High Purity Carbon Tetrafluoride CF4 bakeng sa ho Etching Indasteri ea Semiconductor, Re amohela metsoalle e tsoang maemong 'ohle a bophelo ba letsatsi le letsatsi ho tsoma tšebelisano-'moho le ho aha bokamoso bo khanyang le bo botle haholoanyane.
Re etsa kamehla moea oa rona oa "Boqapi bo tlisang tsoelo-pele, Boleng bo holimo bo etsang hore re iphelise, Melemo ea papatso ea Tsamaiso, Lintlha tsa mokitlane li hohela bareki bakeng saKhase ea Sehatsetsing ea China CF4, Silindara sa Khase, Re molekane oa hau ea tšepahalang mebarakeng ea machaba ka thepa ea boleng bo holimo. Melemo ea rona ke boqapi, ho tenyetseha le botšepehi tse hahiloeng lilemong tse mashome a mabeli tse fetileng. Re tsepamisa maikutlo ho faneng ka tšebeletso bakeng sa bareki ba rona e le karolo ea bohlokoa ho matlafatseng likamano tsa rona tsa nako e telele. Ho fumaneha ha rona khafetsa ha litharollo tsa maemo a holimo hammoho le tšebeletso ea rona e ntle ea pele ho thekiso le kamora thekiso ho netefatsa tlholisano e matla 'marakeng o ntseng o hola oa lefats'e.

Li-parameter tsa Tekheniki

Khabone tetrafluoride ke hydrocarbon e nang le halogen e nang le foromo ea lik'hemik'hale CF4. E ka nkoa e le hydrocarbon e nang le halogen, methane e nang le halogen, perfluorocarbon, kapa e le motsoako o sa pheleng. Khabone tetrafluoride ke khase e se nang 'mala le e se nang monko, e sa qhibiliheng metsing, e qhibilihang ka har'a benzene le chloroform. E tsitsitse tlas'a mocheso o tloaelehileng le khatello, qoba li-oxidant tse matla, thepa e tukang kapa e tukang. Khase e sa cheseng, khatello ea ka hare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesetsoa mocheso o phahameng, 'me ho na le kotsi ea ho petsoha le ho phatloha. E tsitsitse ka lik'hemik'hale ebile ha e chese. Ke reagent ea tšepe ea ammonia-sodium e metsi feela e ka sebetsang mochesong oa kamore. Khabone tetrafluoride ke khase e bakang phello ea greenhouse. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke khase e matla haholo ea greenhouse. Khabone tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea ho hlaba plasma ea lipotoloho tse fapaneng tse kopaneng. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa lihatsetsing tse mocheso o tlase, li-solvents, li-lubricants, thepa ea ho thibela mocheso le li-coolant bakeng sa li-detector tsa infrared. Ke khase e sebelisoang haholo indastering ea microelectronics. Ke motsoako oa khase ea tetrafluoromethane e hloekileng haholo le khase ea tetrafluoromethane e hloekileng haholo le oksijene e hloekileng haholo. E ka sebelisoa haholo ho silicon, silicon dioxide, silicon nitride, le khalase ea phosphosilicate. Ho shapuoa ha thepa e tšesaane ea filimi joalo ka tungsten le tungsten ho boetse ho sebelisoa haholo ho hloekiseng holim'a lisebelisoa tsa elektroniki, tlhahiso ea lisele tsa letsatsi, theknoloji ea laser, sehatsetsing sa mocheso o tlase, tlhahlobo ea ho lutla, le sesepa tlhahisong ea potoloho e hatisitsoeng. E sebelisoa e le sehatsetsing sa mocheso o tlase le theknoloji ea ho shapuoa ka plasma bakeng sa lipotoloho tse kopantsoeng. Litemoso bakeng sa polokelo: Boloka polokelong ea khase e sa cheseng e pholileng, e nang le moea o kenang. Boloka hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30°C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho lintho tse tukang habonolo (tse ka tukang) le tse bakang oksideiti, 'me e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho hlomelloa ka lisebelisoa tsa kalafo ea tšohanyetso tse lutlang.

Kopo:

① Sehatsetsing:

Ka linako tse ling Tetrafluoromethane e sebelisoa e le sehatsetsing se mochesong o tlase.

② Ho fata:

E sebelisoa ho microfabrication ea elektroniki feela kapa hammoho le oksijene e le plasma e khantšang silicon, silicon dioxide le silicon nitride.

Sephutheloana se tloaelehileng:

Molemo:

①Bohloeki bo phahameng, sebaka sa morao-rao;

②Moetsi oa setifikeiti sa ISO;

③Ho fana ka thepa ka potlako;

④Sistimi ea tlhahlobo ea inthanete bakeng sa taolo ea boleng mohatong o mong le o mong;

⑤Ts'ebetso e phahameng le e hlokolosi ea ho sebetsana le silindara pele e tlatsoa;Re etsa moea oa rona oa "Boqapi bo tlisang tsoelo-pele, Boleng bo phahameng bo etsang hore lintho li ikemele, Melemo ea tsamaiso ea papatso, lintlha tsa mokitlane tse hohelang bareki bakeng sa Khase e rekisoang haholo ea Chaena High Purity Carbon Tetrafluoride CF4 bakeng sa ho Etching Indasteri ea Semiconductor, Re amohela metsoalle e tsoang maemong 'ohle a bophelo ba letsatsi le letsatsi ho tsoma tšebelisano-'moho le ho aha bokamoso bo khanyang le bo botle haholoanyane.
E rekisoang haholoKhase ea Sehatsetsing ea China CF4, Silindara sa Khase, Re molekane oa hau ea tšepahalang mebarakeng ea machaba ka thepa ea boleng bo holimo. Melemo ea rona ke boqapi, ho tenyetseha le botšepehi tse hahiloeng lilemong tse mashome a mabeli tse fetileng. Re tsepamisa maikutlo ho faneng ka tšebeletso bakeng sa bareki ba rona e le karolo ea bohlokoa ho matlafatseng likamano tsa rona tsa nako e telele. Ho fumaneha ha rona khafetsa ha litharollo tsa maemo a holimo hammoho le tšebeletso ea rona e ntle ea pele ho thekiso le kamora thekiso ho netefatsa tlholisano e matla 'marakeng o ntseng o hola oa lefats'e.