Re thabela ho e-na le kamano e ntle haholo pakeng tsa bareki ba rona bakeng sa boleng ba sehlahisoa se setle, kaha setšehetso se phahameng haholo bakeng sa ts'ebetso ea Simcontor, kaha re se re felletse ka hara thepa ea Simcontur. Ha re ntse re sebelisa lebelo la sechaba le moruo, re tla tsoela pele ho etsa "motho ea phahameng haholo, 'me re phehella ho sebetsa le ho feta, ho ea ho moreki. Re tla etsa hore ho be monate nako e telele ka tlhahiso ea moriri le metsoalle ea rona.
Re thabela ho ba le boemo bo botle bo botle haholo pakeng tsa bareki ba rona bakeng sa boleng ba thepa ea rona e ntle ea sehlahisoa, theko e mabifi hammoho le ts'ehetso e ntle haholo bakeng saChina Carbon Tetrafluoride le cf4, Thepa ea rona e tsebahala haholo ka Lentsoeng, joalo ka Amerika Boroa, Afrika, Asia joalo-joalo. Likhamphani ho "theha lihlahisoa tsa sehlopha sa pele" joalo ka sepheo, 'me u loanele ho fana ka tharollo ea boleng bo holimo, le bokamoso bo betere!
TLHOKOMELISO | 99.999% |
Oksijene + ea oksijene + | ≤1ppm |
Nitrogen | ≤4 PPM |
Mongobo (H2O) | ≤3 PPM |
HF | ≤0.1 PPM |
CO | ≤0.1 PPM |
Co2 | ≤1 PPM |
SF6 | ≤1 PPM |
Halocarbynes | ≤1 PPM |
LITLHAKISO TSA BOPHELO | ≤10 PPM |
Carbon Tetrafluoride ke hydrocarbon e hapise e na le mofuta oa lik'hemik'hale CF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.
① sehatsetsi:
Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.
② Etching:
E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene
Sehlahisoa | Carbon Tetrafluoride Cf4 | ||
Boholo ba sephutheloana | 40lr silindar | 50ltr silindar | |
Ho tlatsa boima ba 'mele / cyl | 30Kgs | 38Kgs | |
Qty e imetsoe ka 20'container | Li-cons tse 250 | Li-cons tse 250 | |
Boima bo felletseng ba matlo | Lithane tse 7.5 | Lithane tsa 9.5 | |
Cylindar Tare Boima | 50KGs | 55kgs | |
Valve | CGA 580 |
Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;
Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;
PUSELETSO;
Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;
Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Re thabela ho e-na le kamano e ntle haholo pakeng tsa bareki ba rona bakeng sa boleng ba sehlahisoa se setle, kaha setšehetso se phahameng haholo bakeng sa ts'ebetso ea Simcontor, kaha re se re felletse ka hara thepa ea Simcontur. Ha re ntse re sebelisa lebelo la sechaba le moruo, re tla tsoela pele ho etsa "motho ea phahameng haholo, 'me re phehella ho sebetsa le ho feta, ho ea ho moreki. Re tla etsa hore ho be monate nako e telele ka tlhahiso ea moriri le metsoalle ea rona.
Ts'ebetso e phahamengChina Carbon Tetrafluoride le cf4, Thepa ea rona e tsebahala haholo ka Lentsoeng, joalo ka Amerika Boroa, Afrika, Asia joalo-joalo. Likhamphani ho "theha lihlahisoa tsa sehlopha sa pele" joalo ka sepheo, 'me u loanele ho fana ka tharollo ea boleng bo holimo, le bokamoso bo betere!