Fook Monter Charbon Tetrafluoride, Tetrafluromethane, R14, CF4 Khase

Ho fumana mabenkele a bareki ke sepheo sa k'hamphani ea rona ka ho sa feleng. Re tla etsa liteko tse ntle tsa ho hlahisa lihlahisoa tse ncha le tse holimo, re u khothaletse ka ho rekisa
Ho fumana mabenkele a bareki ke sepheo sa k'hamphani ea rona ka ho sa feleng. Re tla etsa liteko tse ntle tsa ho hlahisa lihlahisoa tse ncha tsa boleng le tse holimo, kopana le litlhokahalo tse khethehileng 'me re u fa litšebeletso tse rekisoang, tsa thekiso ea thepaChina CF4 sethaleng sa khase, Sethala sa khase, Ka lebaka la mekhoa e holang lefapheng lena, re kenella khoebong ea lihlahisoa le boiteko bo kopaneng le maemo a ho qetela a ikhethileng. Re boloka litšoantšiso tsa ho tlisa nako, merero e mengata e ncha, boleng le pepenene ho bareki ba rona. Moto oa rona ke ho tsamaisa lihlahisoa tsa boleng ka nako e khethiloeng.

Litekanyetso tsa tekheniki

Carbon Tetrafluoride ke hydrocarbon e hapise e na le mofuta oa lik'hemik'hale CF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.

Kopo:

① sehatsetsi:

Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.

② Etching:

E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene

Sephutheloana se tloaelehileng:

Molemo:

Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;

Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;

PUSELETSO;

Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;

Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Ho fumana mabenkele a bareki ke sepheo sa k'hamphani ea rona ka ho sa feleng. Re tla etsa liteko tse ntle tsa ho hlahisa lihlahisoa tse ncha le tse holimo, re u khothaletse ka ho rekisa
Mohloli oa FektheriChina CF4 sethaleng sa khase, Sethala sa khase, Ka lebaka la mekhoa e holang lefapheng lena, re kenella khoebong ea lihlahisoa le boiteko bo kopaneng le maemo a ho qetela a ikhethileng. Re boloka litšoantšiso tsa ho tlisa nako, merero e mengata e ncha, boleng le pepenene ho bareki ba rona. Moto oa rona ke ho tsamaisa lihlahisoa tsa boleng ka nako e khethiloeng.