Ka mokhoa o phahameng oa boleng bo phahameng, botumo bo botle le tšehetso ea bareki e ntle, letoto la lihlahisoa le tharollo ea rona li romelloa linaha tse ngata le libaka tsa fektheriChina 8l khabone tetran tetrafluoride cf4 khase, O amohela metsoalle eohle ea mose ho maoatle le barekisi hore ba iketsetse tšebelisano le rona. Re tla u fa ka tieo, boleng bo phahameng le ba boleng bo phahameng le bo sebetsang ho fihlela litlhoko tsa hau.
Ka mokhoa o phahameng oa boleng bo phahameng, botumo bo botle le tšehetso e ntle ea bareki, letoto la lihlahisoa le tharollo e hlahisoang ke libaka tse ngata le libaka tse ngataChina 8l khabone tetran tetrafluoride cf4 khase, E le mokhoa oa ho sebelisa sesebelisoa ho lintlha tse atolosang tlhaiso-leseling le lintlha tsa machaba khoebong ea machabeng, re amohela menyetla e hole le kae kapa kae. Ho sa tsotelehe thepa ea boleng bo holimo eo re u fang eona, e khotsofatsang le e khotsofatsang e fanoa ke setsebi sa rona sa litšebeletso kamora ho rekisa. Tharollo Lethathamong le litekanyetso tse qaqileng tsa litekanyetso tse ling le lintlha life kapa life tse ling tseo u li romelloang bakeng sa hau bakeng sa lipotso. Ka hona, ka kopo ikopanye le rona ka ho re romella mangolo-tsoibila kapa re ikopanye le rona haeba le na le matšoenyeho ka ho fetella. O ka fumana lintlha tsa bohlokoa tsa aterese sebakeng sa rona sa marang-rang 'me sa tla khoebong ea rona. kapa tlhahlobo ea tšimo ea tharollo ea rona. Re kholisehile hore re se re le haufi le ho arolelana likamano tse hlophisitsoeng le metsoalle ea rona 'marakeng ona. Re lebelletse lipotso tsa hau.
TLHOKOMELISO | 99.999% |
Oksijene + ea oksijene + | ≤1ppm |
Nitrogen | ≤4 PPM |
Mongobo (H2O) | ≤3 PPM |
HF | ≤0.1 PPM |
CO | ≤0.1 PPM |
Co2 | ≤1 PPM |
SF6 | ≤1 PPM |
Halocarbynes | ≤1 PPM |
LITLHAKISO TSA BOPHELO | ≤10 PPM |
Carbon Tetrafluoride ke hydrocarbon e hapise e na le mofuta oa lik'hemik'hale CF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.
① sehatsetsi:
Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.
② Etching:
E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene
Sehlahisoa | Carbon Tetrafluoride Cf4 | ||
Boholo ba sephutheloana | 40lr silindar | 50ltr silindar | |
Ho tlatsa boima ba 'mele / cyl | 30Kgs | 38Kgs | |
Qty e imetsoe ka 20'container | Li-cons tse 250 | Li-cons tse 250 | |
Boima bo felletseng ba matlo | Lithane tse 7.5 | Lithane tsa 9.5 | |
Cylindar Tare Boima | 50KGs | 55kgs | |
Valve | CGA 580 |
Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;
Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;
PUSELETSO;
Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;
Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Ka mokhoa o phahameng oa boleng bo phahameng, botumo bo botle le tšehetso e ntle ea bareki, letoto la lihlahisoa le lithaelese tsa rona li romelloa ho linaha tse ngata le barekisi ba ka mose ho maoatle. Re tla u fa ka tieo, boleng bo phahameng le ba boleng bo phahameng le bo sebetsang ho fihlela litlhoko tsa hau.
Fektheri Likolona tsa China 8l khase, e le mokhoa oa ho sebelisa sesebelisoa khoebong ea machabeng, re amohela ka hloko sebaka sa machabeng le kantle ho naha. Ho sa tsotelehe thepa ea boleng bo holimo eo re u fang eona, e khotsofatsang le e khotsofatsang e fanoa ke setsebi sa rona sa litšebeletso kamora ho rekisa. Tharollo Lethathamong le litekanyetso tse qaqileng tsa litekanyetso tse ling le lintlha life kapa life tse ling tseo u li romelloang bakeng sa hau bakeng sa lipotso. Ka hona, ka kopo ikopanye le rona ka ho re romella mangolo-tsoibila kapa re ikopanye le rona haeba le na le matšoenyeho ka ho fetella. O ka fumana lintlha tsa bohlokoa tsa aterese sebakeng sa rona sa marang-rang 'me sa tla khoebong ea rona. kapa tlhahlobo ea tšimo ea tharollo ea rona. Re kholisehile hore re se re le haufi le ho arolelana likamano tse hlophisitsoeng le metsoalle ea rona 'marakeng ona. Re lebelletse lipotso tsa hau ..