Moetsi oa Chaena bakeng sa Khase ea Elektroniki ea Tetrafluoride ea Khabone ea Chaena CF4

Khamphani ea rona e tsitlallela ho pholletsa le leano la boleng la "boleng ba sehlahisoa ke motheo oa ho phela ha khoebo; khotsofalo ea bareki ke ntlha ea bohlokoa le qetello ea khoebo; ntlafatso e tsoelang pele ke ho phehella basebetsi ka ho sa feleng" le sepheo se tsitsitseng sa "botumo pele, moreki pele" bakeng sa Moetsi oa Chaena bakeng saTetrafluoride ea Khabone ea Chaena CF4Khase ea Elektroniki, Re u khothalletsa hore u e fumane kaha re ntse re batla basebetsi-'moho khoebong ea rona. Re na le bonnete ba hore u tla fumana khoebo e sebetsang le rona eseng feela e behang litholoana empa hape e nang le phaello. Kaofela re itokiselitse ho u fa seo u se hlokang.
Khamphani ea rona e tsitlallela ho pholletsa le leano la boleng la "boleng ba sehlahisoa ke motheo oa ho phela ha khoebo; khotsofalo ea bareki ke ntlha ea bohlokoa le qetello ea khoebo; ntlafatso e tsoelang pele ke ho phehella basebetsi ka ho sa feleng" le sepheo se tsitsitseng sa "botumo pele, moreki pele" bakeng saCF4, Tetrafluoride ea Khabone ea Chaena, re tšepa ka tieo ho theha kamano e ntle le ea nako e telele ea khoebo le k'hamphani ea hau e hlomphehang ka monyetla ona, o thehiloeng holim'a tekano, melemo ea bobeli le khoebo e putsang bohle ho tloha joale ho isa nakong e tlang. "Khotsofalo ea hau ke thabo ea rona".

Li-parameter tsa Tekheniki

Khabone tetrafluoride ke hydrocarbon e nang le halogen e nang le foromo ea lik'hemik'hale CF4. E ka nkoa e le hydrocarbon e nang le halogen, methane e nang le halogen, perfluorocarbon, kapa e le motsoako o sa pheleng. Khabone tetrafluoride ke khase e se nang 'mala le e se nang monko, e sa qhibiliheng metsing, e qhibilihang ka har'a benzene le chloroform. E tsitsitse tlas'a mocheso o tloaelehileng le khatello, qoba li-oxidant tse matla, thepa e tukang kapa e tukang. Khase e sa cheseng, khatello ea ka hare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesetsoa mocheso o phahameng, 'me ho na le kotsi ea ho petsoha le ho phatloha. E tsitsitse ka lik'hemik'hale ebile ha e chese. Ke reagent ea tšepe ea ammonia-sodium e metsi feela e ka sebetsang mochesong oa kamore. Khabone tetrafluoride ke khase e bakang phello ea greenhouse. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke khase e matla haholo ea greenhouse. Khabone tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea ho hlaba plasma ea lipotoloho tse fapaneng tse kopaneng. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa lihatsetsing tse mocheso o tlase, li-solvents, li-lubricants, thepa ea ho thibela mocheso le li-coolant bakeng sa li-detector tsa infrared. Ke khase e sebelisoang haholo indastering ea microelectronics. Ke motsoako oa khase ea tetrafluoromethane e hloekileng haholo le khase ea tetrafluoromethane e hloekileng haholo le oksijene e hloekileng haholo. E ka sebelisoa haholo ho silicon, silicon dioxide, silicon nitride, le khalase ea phosphosilicate. Ho shapuoa ha thepa e tšesaane ea filimi joalo ka tungsten le tungsten ho boetse ho sebelisoa haholo ho hloekiseng holim'a lisebelisoa tsa elektroniki, tlhahiso ea lisele tsa letsatsi, theknoloji ea laser, sehatsetsing sa mocheso o tlase, tlhahlobo ea ho lutla, le sesepa tlhahisong ea potoloho e hatisitsoeng. E sebelisoa e le sehatsetsing sa mocheso o tlase le theknoloji ea ho shapuoa ka plasma bakeng sa lipotoloho tse kopantsoeng. Litemoso bakeng sa polokelo: Boloka polokelong ea khase e sa cheseng e pholileng, e nang le moea o kenang. Boloka hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30°C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho lintho tse tukang habonolo (tse ka tukang) le tse bakang oksideiti, 'me e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho hlomelloa ka lisebelisoa tsa kalafo ea tšohanyetso tse lutlang.

Kopo:

① Sehatsetsing:

Ka linako tse ling Tetrafluoromethane e sebelisoa e le sehatsetsing se mochesong o tlase.

② Ho fata:

E sebelisoa ho microfabrication ea elektroniki feela kapa hammoho le oksijene e le plasma e khantšang silicon, silicon dioxide le silicon nitride.

Sephutheloana se tloaelehileng:

Molemo:

①Bohloeki bo phahameng, sebaka sa morao-rao;

②Moetsi oa setifikeiti sa ISO;

③Ho fana ka thepa ka potlako;

④Sistimi ea tlhahlobo ea inthanete bakeng sa taolo ea boleng mohatong o mong le o mong;

⑤Ts'ebetso e phahameng le e hlokolosi ea ho sebetsana le silindara pele e tlatsoa;Khamphani ea rona e tsitlallela ho pholletsa le leano la boleng la "boleng ba sehlahisoa ke motheo oa ho phela ha khoebo; khotsofalo ea bareki ke ntlha ea bohlokoa le qetello ea khoebo; ntlafatso e tsoelang pele ke ho phehella basebetsi ka ho sa feleng" le sepheo se tsitsitseng sa "botumo pele, moreki pele" bakeng sa Moetsi oa Chaena bakeng saTetrafluoride ea Khabone ea ChaenaCF4 Electronic Gas, Re u khothalletsa hore u ithaopele ho sebetsa kaha re ntse re batla basebetsi-'moho khoebong ea rona. Re na le bonnete ba hore u tla fumana khoebo e sebetsang le rona eseng feela e behang litholoana empa hape e nang le phaello. Kaofela re itokiselitse ho u fa seo u se hlokang.
Moetsi oa Chaena bakeng sa China Carbon Tetrafluoride, CF4, re tšepa ka tieo ho theha kamano e ntle le ea nako e telele ea khoebo le k'hamphani ea hau e hlomphehang ka monyetla ona, o thehiloeng holim'a tekano, melemo ea bobeli le khoebo e putsang bohle ho tloha joale ho isa nakong e tlang. "Khotsofalo ea hau ke thabo ea rona".