Mokhanni oa China oa Chaena Carbon Tetrafluoride cf4 khal ea elektroniki

Khamphani ea rona e tsitsa tsohle tsa boleng ba "Proq ea sehlahisoa ke motheo oa ho pholoha; ntlafatso e sa fetoheng ea ho tsebaChina Carbon Tetrafluoride CF4Khase ea elektroniki, re u khothaletsa ho mamella kamoo re batlang metsoalle ea rona ea pele. Re na le bonnete ba hore u tla fumana ho etsa khoebo ea khoebo le rona ha e na litholoana feela empa hape e na le chelete. Kaofela ha rona re ikemiselitse ho u fa seo o se hlokang.
Khamphani ea rona e tsitsa tsohle tsa boleng ba "boleng ba sehlahisoa ke motheo oa ho pholoha; ntlafatso e sa fetoheng ea basebetsi ba pele, moreki oa peleCF4, China Carbon Tetrafluoride, re ts'epa ka tieo ho theha kamano e ntle ea khoebo e ntle le e telele le k'hamphani ea hau e hlomphuoang ka monyetla ona, e thehiloeng ho tekano le khoebo ea bobeli ho tloha nakong e tlang. "Ho khotsofatsa ha hao ke thabo ea rona".

Litekanyetso tsa tekheniki

Carbon Tetrafluoride ke hydrocarbon e hapise e na le mofuta oa lik'hemik'hale CF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.

Kopo:

① sehatsetsi:

Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.

② Etching:

E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene

Sephutheloana se tloaelehileng:

Molemo:

Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;

Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;

PUSELETSO;

Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;

Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Khamphani ea rona e tsitsa tsohle tsa boleng ba "Proq ea sehlahisoa ke motheo oa ho pholoha; ntlafatso e sa fetoheng ea ho tsebaChina Carbon TetrafluorideKhase ea elektroniki ea elektroniki, re u khothaletsa ho sebetsana le metsoalle ea rona ea pele. Re na le bonnete ba hore u tla fumana ho etsa khoebo ea khoebo le rona ha e na litholoana feela empa hape e na le chelete. Kaofela ha rona re ikemiselitse ho u fa seo o se hlokang.
Chaena Moetsi oa China Carraflu ea China Carbon Tetrafluoride, CF4, re tšepa ka tieo ho theha kamano e ntle le ea nako e telele ka monyetla ona ho isa nakong e tlang. "Ho khotsofatsa ha hao ke thabo ea rona".