Theko e phahameng ka ho fetisisa tetraflueromethanethane mafura a cf4 e le khase ea R14

Bakeng sa ho u fa bonolo le ho holisa khoebo ea rona sehlopheng sa QC mme re u tiisetse khase, mohopolo oa rona o mabifi Ka tšehetso ea hau, re tla hola haholoanyane.
Bakeng sa ho u fa bonolo le ho holisa khoebo ea rona, re boetse re na le bahlahlobisisi sehlopheng sa QC mme re u tiisetsa tšebeletso ea rona e ntle le sehlahisoa sa rona se molemo ka ho fetisisaChina CF4 le cf4 khase, Amohela ho etela Khamphani ea rona, fektheri le kamore ea rona ea maikutlo moo li bolailoeng ke moriri o tla fihlela tebello ea hau. Khabareng, ho loketse ho etela sebaka sa rona sa marang-rang, le basebetsi ba rona ba rekisitsoeng ba tla leka sohle se matleng a bona ho u lopolla tšebeletso e ntle. Ka kopo ikopanye le rona haeba u tlameha ho ba le tlhaiso-leseling e ngata. Morero oa rona ke ho thusa bareki ho lemoha lipheo tsa bona. Re ntse re etsa boiteko bo matla ba ho fihlela boemo bona bo atlehileng.

Litekanyetso tsa tekheniki

Carbon Tetrafluoride ke hydrocarbon e hapise e na le mofuta oa lik'hemik'hale CF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.

Kopo:

① sehatsetsi:

Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.

② Etching:

E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene

Sephutheloana se tloaelehileng:

Molemo:

Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;

Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;

PUSELETSO;

Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;

Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Bakeng sa ho u fa bonolo le ho holisa khoebo ea rona sehlopheng sa QC mme re u tiisetse khase, mohopolo oa rona o mabifi Ka tšehetso ea hau, re tla hola haholoanyane.
Theko e theko e tlaaseChina CF4 le cf4 khase, Amohela ho etela Khamphani ea rona, fektheri le kamore ea rona ea maikutlo moo li bolailoeng ke moriri o tla fihlela tebello ea hau. Khabareng, ho loketse ho etela sebaka sa rona sa marang-rang, le basebetsi ba rona ba rekisitsoeng ba tla leka sohle se matleng a bona ho u lopolla tšebeletso e ntle. Ka kopo ikopanye le rona haeba u tlameha ho ba le tlhaiso-leseling e ngata. Morero oa rona ke ho thusa bareki ho lemoha lipheo tsa bona. Re ntse re etsa boiteko bo matla ba ho fihlela boemo bona bo atlehileng.