Morero oa rona o lokela ho ba morekisi ea ntlafalitsoeng oa lisebelisoa tsa morao-rao tsa ho fana ka thepa ea lefatše.
Morero oa rona o lokela ho ba ho etsa hore e be morekisi ea nang le boiphihlelo oa mekhoa e nang le kopo ea matsoho le setaele sa mantlha sa ho fana ka maikutlo a lefatše laKhase ea khabone ea khabone, China cf4 khase, Kahoo le rona re tsoela pele re sebetsa khafetsa. Rona, netefatsa boleng bo phahameng, 'me ba hlokomela bohlokoa ba ts'ireletso ea tikoloho, thepa e ntle ea tikoloho, e nang le tikoloho ea tikoloho, e nchafatsa ka tharollo. Re ntlafalitse thapo ea rona, e hlahisang mokhatlo oa rona. N E Nthatse 'me u akaretse lintho tsa mantlha tseo u fanang ka tsona hajoale, u ka etela Webosaeteng ea rona ea morao-rao, e amanang le mohala oa rona oa morao-rao. Re labalabela ho etsa khokahano ea khamphani ea rona.
TLHOKOMELISO | 99.999% |
Oksijene + ea oksijene + | ≤1ppm |
Nitrogen | ≤4 PPM |
Mongobo (H2O) | ≤3 PPM |
HF | ≤0.1 PPM |
CO | ≤0.1 PPM |
Co2 | ≤1 PPM |
SF6 | ≤1 PPM |
Halocarbynes | ≤1 PPM |
LITLHAKISO TSA BOPHELO | ≤10 PPM |
Carbon Tetrafluoride ke hydrocarbon e hapise e na le mofuta oa lik'hemik'hale CF4. E ka nkuoa e le hydrocarbon e hapugrocan, methanete methane, Perfbuorocarbornon, kapa joalo ka motsoako o ka hare. Carbon Tetrafluoor ke khase e se nang 'mala le e nang le monko o motle, e sa phekoloang ka metsing, e qhibilihe ka metsing, e qhibilihang Benzene le chloroform. E tsitsitseng tlasa mocheso o tloaelehileng le khatellong e matla, qoba li-oxidants tse matla, lisebelisoa tse ntle kapa tse nang le matla. Khase e sa lefelloeng, khatello ea kahare ea setshelo e tla eketseha ha e pepesoa mocheso o phahameng, mme ho na le kotsi ea ho tšela le ho phatloha. E tsitsitse e tsitsitseng ebile e se na khanya. Ho beoa feela a ammonia-sodium ea tšepe e ka sebetsa mochesong oa kamore. Carbon Tetrafluoride ke khase e bakang phello ea sethopo. E tsitsitse haholo, e ka lula sepakapakeng nako e telele, 'me ke mafura a matla a futhumatsang a futhumatsang. Carbon Tetraflu ea Carbon Tetrafluoride e sebelisoa ts'ebetsong ea liqhomane tse fapaneng tse kopaneng tsa lipotoloho. E boetse e sebelisoa e le khase ea laser, 'me e sebelisoa ka li-ralglirate tsa mocheso, li-solvent, li-lubrictricts, li lekola thepa le liphula tsa liphula. Ke li-plasma tse sebelisoang ka ho fetisisa tsa plasma e sa sebetseng ka ho fetisisa indastering ea likonyana tsa likoetsi tsa likokoana-hloko. Ke motsoako oa Tetrafluromethanetsanathane phahameng ka ho hlaka ha khase e phahameng ea khase le oksijene ea bohloeki e phahameng. E ka sebelisoa haholo silile ea silicon, silion dioxide, silicon nitride, le phosphosisate e ngata. Ho itšehla thajana tse tšesali tse kang tungsten le tungsten le tsona li sebelisoa hohle ho hloekisa lisebelisoa tsa elektroniki, tlhaiso-leseling e tlase ea mocheso. E sebelisoang e le sehlahisoa sa mocheso o tlase le plasma o omileng bakeng sa lipotoloho tse kopaneng. Litemoso tsa polokelo ea polokelo: Boloka ka ntlong e pholileng, e nang le moea o monyane eseng ea ntlo ea khase ea khase. Tlohela hole le mollo le mehloli ea mocheso. Mocheso oa polokelo ha oa lokela ho feta 30 ° C. E lokela ho bolokoa ka thoko ho (e potlakileng) le li-oxidants, mme e qobe polokelo e tsoakiloeng. Sebaka sa polokelo se lokela ho ba le lisebelisoa tsa ho li qoba.
① sehatsetsi:
Tetrafluromethane ka linako tse ling e sebelisoa e le sehatsetsi la mocheso o tlase.
② Etching:
E sebelisoa ho li-microfabebrics feela kapa li kopantsoe le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene joalo ka ha ho na le oksijene
Sehlahisoa | Carbon Tetrafluoride Cf4 | ||
Boholo ba sephutheloana | 40lr silindar | 50ltr silindar | |
Ho tlatsa boima ba 'mele / cyl | 30Kgs | 38Kgs | |
Qty e imetsoe ka 20'container | Li-cons tse 250 | Li-cons tse 250 | |
Boima bo felletseng ba matlo | Lithane tse 7.5 | Lithane tsa 9.5 | |
Cylindar Tare Boima | 50KGs | 55kgs | |
Valve | CGA 580 |
Ho hloeka hoa bohloeki, setsi sa morao-rao;
Moetsi oa setifikeiti sa ②iso;
PUSELETSO;
Sistimi ea tlhahlobo ea likolobe ea taolo ea boleng bo maemong a mang le e 'ngoe;
Boikemisetso le ts'ebetso e matlafatsang ea ho sebetsana le silinda pele u ntse u tlatsa;Morero oa rona o lokela ho ba morekisi ea ntlafalitsoeng oa lisebelisoa tsa morao-rao tsa ho fana ka thepa ea lefatše.
2019 boleng bo botleChina cf4 khase, Khase ea khabone ea khabone, Kahoo le rona re tsoela pele re sebetsa khafetsa. Rona, netefatsa boleng bo phahameng, 'me ba hlokomela bohlokoa ba ts'ireletso ea tikoloho, thepa e ntle ea tikoloho, e nang le tikoloho ea tikoloho, e nchafatsa ka tharollo. Re ntlafalitse thapo ea rona, e hlahisang mokhatlo oa rona. N E Nthatse 'me u akaretse lintho tsa mantlha tseo u fanang ka tsona hajoale, u ka etela Webosaeteng ea rona ea morao-rao, e amanang le mohala oa rona oa morao-rao. Re labalabela ho etsa khokahano ea khamphani ea rona.